一种压电薄膜声学谐振器
授权
摘要
本实用新型提供了一种压电薄膜声学谐振器，包括衬底、设置于所述衬底一侧的第一电极、与所述衬底的一侧连接且覆盖至少部分所述第一电极的压电薄膜以及设置于所述压电薄膜的远离第一电极一侧的第二电极，所述第一电极与所述第二电极于所述压电薄膜的厚度方向的投影至少部分重合，所述第一电极一端沿着所述衬底与所述第一电极连接的表面朝远离所述压电薄膜的方向延伸形成第一引出线，所述第二电极一端朝远离所述第一引出线的方向延伸形成第二引出线，所述第一引出线远离所述衬底的表面具有第一凸起反射栅，所述第二引出线远离所述衬底的表面具有第二凸起反射栅。在提高品质因数的前提下，降低对声学性能的影响。
基本信息
专利标题 ：
一种压电薄膜声学谐振器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122961003.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-29
授权号 ：
CN216414272U
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
杨帅张丽蓉吴珂庄智强王超
申请人 ：
瑞声科技（南京）有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市栖霞区仙林大学城元化路南大科学园新兴产业孵化基地研发楼8层
代理机构 ：
深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙)
代理人 ：
钟连发
优先权 ：
CN202122961003.X
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02
法律状态
2022-04-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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