温度补偿型谐振器及其制造方法
实质审查的生效
摘要

本发明提供一种温度补偿型谐振器,其包括:压电基底;叉指电极,其包含构成为叉指结构的第1电极和第2电极,且第1电极和第2电极均形成在压电基底上;汇流条,其包含彼此平行配置的第1汇流条和第2汇流条,第1汇流条和第2汇流条均形成在压电基底上,第1汇流条连接第1电极的一端,第2汇流条连接第2电极的一端;加厚层,其形成在叉指电极上;以及温度补偿层,其由温度补偿材料所构成,并覆盖叉指电极、汇流条和加厚层,其中,在压电基底的、第1电极与第2汇流条之间的间隙区域中开挖有沟槽,并且在压电基底的、第2电极与第1汇流条之间的间隙区域中也开挖有沟槽,沟槽中填充有温度补偿材料。

基本信息
专利标题 :
温度补偿型谐振器及其制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114553174A
申请号 :
CN202210166563.2
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-02-23
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
许欣
申请人 :
广东广纳芯科技有限公司
申请人地址 :
广东省广州市黄埔区(中新广州知识城)亿创街1号607房
代理机构 :
上海专利商标事务所有限公司
代理人 :
熊风
优先权 :
CN202210166563.2
主分类号 :
H03H9/02
IPC分类号 :
H03H9/02  H03H3/08  
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/02
申请日 : 20220223
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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