一种体声波谐振器的制备方法及制备装置
公开
摘要
本文公开一种体声波谐振器的制备方法及制备装置，包括：在衬底材料上制备谐振振子和支撑锚；在谐振振子上制备第一材料层；图形化处理第一材料层获得阻断掩模；腐蚀性流体通过谐振振子的通孔流向衬底，以在衬底上刻蚀空腔；去除阻断掩模，获得体声波谐振器；其中，谐振振子包含预设的通孔；谐振振子和支撑锚组成区域的外侧存在腐蚀性流体流向衬底的通路；阻断掩模用于阻断除通孔外所有腐蚀性流体的通路。本发明实施例对通过设置阻断掩模避免了腐蚀性流体从除预设的通孔以外的位置流向衬底，使衬底空腔上表面的面积缩小至谐振振子的面积的4倍以内。
基本信息
专利标题 ：
一种体声波谐振器的制备方法及制备装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114301408A
申请号 ：
CN202210009064.2
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2022-01-06
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
南天翔曹昌铭田世伟
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
北京市海淀区清华园
代理机构 ：
北京安信方达知识产权代理有限公司
代理人 ：
李丹
优先权 ：
CN202210009064.2
主分类号 ：
H03H3/02
IPC分类号 ：
H03H3/02
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
