滤波器的制备方法、滤波器

授权

摘要

本发明公开了一种滤波器的制备方法、滤波器。滤波器的制备方法包括：提供衬底，所述衬底包括中心区和环绕所述中心区的边缘区；形成位于所述衬底中心区的至少两个薄膜谐振器单元；形成覆盖所述薄膜谐振器单元的空腔牺牲层；在所述空腔牺牲层远离所述衬底的表面生长形成封装层，所述封装层覆盖所述空腔牺牲层和所述衬底的边缘区；释放所述空腔牺牲层以形成空腔。本发明实施例能够节约滤波器生产时所需的材料，减少生产周期，节约成本。

基本信息

专利标题：

滤波器的制备方法、滤波器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN113098417A

申请号：

CN202110341609.5

公开（公告）日：

2021-07-09

申请日：

2021-03-30

授权号：

CN113098417B

授权日：

2022-04-22

发明人：

吴明唐兆云王家友赖志国唐滨王矿伟刘海瑞杨清华

申请人：

苏州汉天下电子有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区15幢301和302室

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

孟金喆

优先权：

CN202110341609.5

主分类号：

H03H3/02

IPC分类号：

H03H3/02