无源滤波器及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本公开提供一种无源滤波器及其制备方法，属于射频器件技术领域。本公开提供一种无源滤波器，其包括：介质基板、至少一个电容以及至少一个电感。介质基板包括沿介质基板厚度方向设置的开槽，开槽的内壁包括第一部分，第一部分上至少部分点的切线的延伸方向与介质基板所在平面的延伸方向相交。电容包括背离所述介质基板方向依次设置的第一极板、第一层间介质层以及第二极板，电容的第一极板、电容的第二极板以及第一层间介质层在介质基板上的正投影重叠的部分，至少覆盖第一部分。
基本信息
专利标题 ：
无源滤波器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114497027A
申请号 ：
CN202210111884.2
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-01-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
曹雪肖月磊李月车春城吴艺凡安齐昌常文博周毅冯昱霖韩基挏
申请人 ：
京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司
申请人地址 ：
北京市朝阳区酒仙桥路10号
代理机构 ：
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
李迎亚
优先权 ：
CN202210111884.2
主分类号 ：
H01L27/01
IPC分类号 ：
H01L27/01 H01L21/70 H03H7/01
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27/00
由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27/01
只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 27/01
申请日 : 20220129
申请日 : 20220129
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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