压电元件的制造方法
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摘要
本发明是压电元件的制造方法。该制造方法是对包含使由Pb类压电材料构成的压电体和树脂交替排列的压电体复合物的压电元件进行制造的方法,包含利用蚀刻液对通过切割而形成的并列的多个压电体切片进行蚀刻的工序。上述蚀刻液使用含有0.1~20质量%的六氟硅酸的液体。
基本信息
专利标题 :
压电元件的制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN109155359A
申请号 :
CN201780030141.X
公开(公告)日 :
2019-01-04
申请日 :
2017-04-25
授权号 :
CN109155359B
授权日 :
2022-06-10
发明人 :
多田一成清水直纪
申请人 :
柯尼卡美能达株式会社
申请人地址 :
日本东京都
代理机构 :
北京市柳沈律师事务所
代理人 :
张思宝
优先权 :
CN201780030141.X
主分类号 :
H01L41/332
IPC分类号 :
H01L41/332 H01L21/306 H01L21/308 H01L41/18 H01L41/338
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法律状态
2022-06-10 :
授权
2019-01-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 41/332
申请日 : 20170425
申请日 : 20170425
2019-01-04 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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