氮化物压电体和使用该氮化物压电体的MEMS器件
实质审查的生效
摘要
本发明的课题是提供与未添加任何元素的氮化铝相比具有更高的性能指数(d33、g33和K2中的至少任意1个)的值的氮化物压电体和使用该氮化物压电体的MEMS器件。本发明的解决方法是一种压电体，其由化学式Al1‑X‑YMgXTaYN表示，其中，X+Y小于1，并且X处于大于0且小于1的范围，Y处于大于0且小于1的范围，Ta包含4价的Ta。
基本信息
专利标题 ：
氮化物压电体和使用该氮化物压电体的MEMS器件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114341053A
申请号 ：
CN202080061646.4
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2020-06-04
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
安格拉尼·斯里·阿优秋山守人上原雅人山田浩志平田研二
申请人 ：
国立研究开发法人产业技术综合研究所
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈彦
优先权 ：
CN202080061646.4
主分类号 ：
B81B3/00
IPC分类号 ：
B81B3/00 H01L41/09 H01L41/113 H01L41/187
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B3/00
由柔性或可变形的元件组成的装置，例如由弹性舌或膜片组成
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B81B 3/00
申请日 : 20200604
申请日 : 20200604
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
