压电谐振元件及其制造方法
发明专利申请公布后的驳回
摘要
本发明涉及一种压电谐振元件及其制造方法，能够防止压电体层的裂纹。该压电谐振元件，在衬底(11)上介由空气层(12)依次地设置下部电极(13)、压电体层(14)和上部电极(15)，并且至少一部分具有下部电极(13)、压电体层(14)和上部电极(15)的层积结构，其中，压电体层(14)的内部应力大于或等于－300MPa且小于或等于90MPa。
基本信息
专利标题 ：
压电谐振元件及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1838531A
申请号 ：
CN200610071472.1
公开（公告）日 ：
2006-09-27
申请日 ：
2006-03-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
佐藤圭
申请人 ：
索尼株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
陶凤波
优先权 ：
CN200610071472.1
主分类号 ：
H03H9/15
IPC分类号 ：
H03H9/15 H01L41/09
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法律状态
2009-10-21 ：
发明专利申请公布后的驳回
2006-11-22 ：
实质审查的生效
2006-09-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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