压电元件及用于制造该压电元件的方法

发明专利申请公布后的驳回

摘要

需要一种能够提高生产率和产量而不降低压电特性的压电元件及其制造方法。压电元件提供有衬底、设置在衬底上的第一电极膜、设置在第一电极膜上的压电膜和设置在压电膜上的第二电极膜。该压电膜具有由多个结晶化的压电薄膜构成的叠置结构。通过形成压电薄膜的膜形成步骤和热处理压电薄膜以影响结晶化的结晶化热处理步骤的重复循环来形成具有预定厚度的压电薄膜。以这种方式，可制造在膜厚度方向上显示出均匀结晶度的压电膜。

基本信息

专利标题：

压电元件及用于制造该压电元件的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1848473A

申请号：

CN200610082066.5

公开（公告）日：

2006-10-18

申请日：

2006-03-06

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

中盐荣治本多顺一田村孝铃木浩二稻熊辉往相泽学高桥和夫樱井忠司

申请人：

索尼株式会社

申请人地址：

日本东京都

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

陶凤波

优先权：

CN200610082066.5

主分类号：

H01L41/083

IPC分类号：

H01L41/083 H01L41/18 H01L41/22