一种电镀槽体
授权
摘要

本实用新型公开了一种电镀槽体,包括电镀槽基座,电镀槽基座上设有电镀内外循环槽,电镀内外循环槽一侧设有均化板驱动装置盒,电镀内外循环槽上端一侧设有贯穿其上端设置的阳极,阳极一侧设有均化板,均化板远离阳极的另一侧设有晶圆片夹具,电镀内外循环槽槽内设有设置于晶圆片夹具一侧的内置加热器,均化板上端设有与电镀内外循环槽上端连接的连接杆,连接杆一端与均化板驱动装置盒上端设置的均化板驱动装置连接。本实用新型的有益效果:加热器由外置更改为内置,运行更稳定,加热速度快,装配简单,成本低,阳极由固定式加装为可调节式,可根据电镀工艺随意调整合适位置,均化板驱动装置加装止转卡扣,运行稳定,在运作时无倾斜情况。

基本信息
专利标题 :
一种电镀槽体
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123240417.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-22
授权号 :
CN216514213U
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
刘金升夏前刚
申请人 :
苏州施密科微电子设备有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市相城区太平街道聚金路5号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202123240417.X
主分类号 :
C25D17/02
IPC分类号 :
C25D17/02  C25D17/10  C25D21/02  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C25
电解或电泳工艺;其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法;电铸;工件的电解法接合;所用的装置
C25D17/00
电解镀覆用电解槽的结构件、或其组合件
C25D17/02
镀槽;镀槽的安装
法律状态
2022-05-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332