一种非接触式吸盘夹具
授权
摘要
本实用新型涉及一种非接触式吸盘夹具，包括第一夹吸机构，第一夹吸机构包括夹紧组件和非接触式吸盘；夹紧组件包括安装板、两个对称设置的非刚性夹紧件和驱动部件；驱动部件安装在安装板上，驱动部件包括运动方向相反的两个移动块，两个移动块分别对应连接一个非刚性夹紧件；非接触式吸盘固定在安装板下，位于两个非刚性夹紧件之间；安装板上安装有检测移动块位置的位移传感器。本实用新型提供的机械式非接触式双工位夹具，代替人工作业，减少人工用工数，生产效率大大提高，操作方便；避免接触晶圆正面的同时，并且避免由于吸盘与晶圆没有直接接触，造成的没有足够的摩擦力固定晶圆，进而导致晶圆掉落损坏的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种非接触式吸盘夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123257092.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-22
授权号 ：
CN216613085U
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
吴泽斌王世锐林志阳
申请人 ：
厦门特仪科技有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市火炬高新区信息光电园金丰大厦809A室
代理机构 ：
北京中索知识产权代理有限公司
代理人 ：
姚昌胜
优先权 ：
CN202123257092.6
主分类号 ：
B65G47/91
IPC分类号 ：
B65G47/91
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置；使用这些装置的方法
B65G47/74
特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置
B65G47/90
捡取或放下物件或物料的装置
B65G47/91
与气动结合的，如吸盘、抓手装置
法律状态
2022-05-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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