梳状电容式麦克风
授权
摘要
本实用新型提供一种梳状电容式麦克风包括基板,固定电极及振膜。所述振膜包括振动部、与所述振动部连接的连接部和凸设于所述振动部的周缘的若干可动电极。所述若干固定电极呈梳状排列并直接蚀刻于基板上,所述若干可动电极呈梳状排列,所述固定电极在空间上与可动电极分离,且其中一固定电极对应其中一可动电极,所述振动部沿空腔的轴线方向的投影覆盖空腔。具有上述结构的所述梳状电容式麦克风可提供相对较大的位移,降低声学噪声,并具有较高的灵敏度,进而获得性能更高的声换能器。
基本信息
专利标题 :
梳状电容式麦克风
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123314804.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-27
授权号 :
CN216649989U
授权日 :
2022-05-31
发明人 :
凯夫兰·雅尼克·皮埃尔张睿
申请人 :
瑞声声学科技(深圳)有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市南山区高新区南区粤兴三道6号南京大学深圳产学研大楼A座
代理机构 :
深圳紫辰知识产权代理有限公司
代理人 :
万鹏
优先权 :
CN202123314804.3
主分类号 :
H04R19/04
IPC分类号 :
H04R19/04
法律状态
2022-05-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载