一种电磁屏蔽八角盒
授权
摘要
本申请涉及一种电磁屏蔽八角盒，设置在基板上，基板设置有与晶圆所在空间相连通的观测孔；包括侧板、盖板、第一密封件以及第二密封件，侧板与基板连接，侧板呈环状，侧板的内侧与观测孔相连通；侧板设置有供探针穿入的第一穿孔，在探针穿入第一穿孔时，第一密封件用于封闭第一穿孔；盖板连接在侧板远离基板的一端上，盖板设置有供镜头穿入的第二穿孔，在镜头穿入第二穿孔时，第二密封件用于封闭第二穿孔。本申请具有能提升晶圆测试的准确性的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种电磁屏蔽八角盒
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123451810.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
CN216671566U
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
刘世文欧晓永陈亮
申请人 ：
深圳市森美协尔科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区西乡街道恒丰工业城C1栋301
代理机构 ：
北京维正专利代理有限公司
代理人 ：
俞振明
优先权 ：
CN202123451810.3
主分类号 ：
H01L21/66
IPC分类号 ：
H01L21/66
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2022-06-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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