实施方式的厚度测定装置具备：放射线源，向测定对象物放射放射线；检测部，检测放射线；测定部，对测定对象物的厚度进行测定；自诊断部，执行多种自中诊断的至少任一种；存储部，存储包含测定部的测定结果以及自诊断部的自诊断结果的测定关系信息，并且存储将所取得的数据的种类以及期间与多种自诊断分别建立对应的对应信息；取得部，在自诊断部执行了自诊断的情况下，参照对应信息，从存储部所存储的测定关系信息，按照与该自诊断建立对应的期间取得与该自诊断建立对应的种类的数据；以及汇集部，生成将由取得部取得的数据进行汇集而成的文件数据。