一种测量真空设备内激光的原位能量测量装置及测量方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种测量真空设备内激光的原位能量测量装置及测量方法，包括：能量计，安装在外部工作台上；导光壳，安装在真空壳体的入射口上；驱动部，驱动部的外部连接至导光壳上，驱动部的移动端设置有反光镜，可以帮助使用者得到真实的激光能量密度，帮助使用者保证不同批次生长的样品具有同样的激光能量密度，从而极大的帮助使用者提高样品的制备重复性和薄膜的质量。
基本信息
专利标题 ：
一种测量真空设备内激光的原位能量测量装置及测量方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114323264A
申请号 ：
CN202210002464.0
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2022-01-04
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
廖昭亮
申请人 ：
中国科学技术大学
申请人地址 ：
安徽省合肥市合作化南路42号中国科技大学国家同步辐射实验室
代理机构 ：
北京盛询知识产权代理有限公司
代理人 ：
张先蓉
优先权 ：
CN202210002464.0
主分类号 ：
G01J1/00
IPC分类号 ：
G01J1/00 G01J1/02 C23C14/28 C23C14/54
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01J
红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法
G01J1/00
光度测定法，例如照相的曝光表
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01J 1/00
申请日 : 20220104
申请日 : 20220104
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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