超薄镜片的镀膜应变的计算方法及其控制方法、超薄镜片
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摘要
本发明公开了一种超薄镜片的镀膜应变的计算方法及其控制方法、超薄镜片,其中镀膜应变计算:获取超薄镜片所需膜层材料的镀膜应力与厚度之间的关系模型,根据各膜层所需厚度求解对应的镀膜应力,再按改进的斯通利公式计算超薄镜片的镀膜层应力,进而得到镀膜层对基片的应变大小;镀膜应变控制:基于超薄镜片的镀膜层应力,设计一种金属氧化膜层,且其镀膜应力与镀膜层应力的矢量和小于预设应力阈值,将设计的金属氧化膜层添加到超薄镜片的镀膜层中,实现对镀膜应力的控制。本发明可以对超薄镜片在镀膜过程中的应变进行预测和控制,得到镀膜后无应变的超薄镜片。
基本信息
专利标题 :
超薄镜片的镀膜应变的计算方法及其控制方法、超薄镜片
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114019590A
申请号 :
CN202210002949.X
公开(公告)日 :
2022-02-08
申请日 :
2022-01-05
授权号 :
CN114019590B
授权日 :
2022-05-27
发明人 :
潘安练范鹏
申请人 :
湖南大学
申请人地址 :
湖南省长沙市岳麓区麓山南路2号
代理机构 :
长沙市融智专利事务所(普通合伙)
代理人 :
熊开兰
优先权 :
CN202210002949.X
主分类号 :
G02B1/10
IPC分类号 :
G02B1/10 G06F30/20 G16C60/00 G06F119/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B1/00
按制造材料区分的光学元件;用于光学元件的光学涂层
G02B1/10
对光学元件表面涂覆或对它进行表面处理后所产生的光学涂层
法律状态
2022-05-27 :
授权
2022-02-25 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 1/10
申请日 : 20220105
申请日 : 20220105
2022-02-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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