离轴非球面扩束组件装调方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种离轴非球面扩束组件装调方法,S1:使光源发出的光经非球面镜组和标准镜反射回来仍与发出的光重合;S2:将光源替换成自准直仪,观察自准直仪上的叉丝成像,并同步调整第二非球面镜,使自准直仪返回的叉丝重合;S3:将自准直仪替换成干涉仪,干涉仪对光路进行干涉测量,根据干涉仪测量得到的泽尼克多项式参数来调整第二非球面镜的姿态,直到干涉仪测量得到的波前最小;S4:使调焦电机直线运动,此时分析干涉仪测量得到的泽尼克多项式,若多项式中仅有和离焦有关的参数发生变化,而其他参数不变,则表示调整到位。本发明的有益效果是:能够实现非球面镜光轴的高精度调节。

基本信息
专利标题 :
离轴非球面扩束组件装调方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114326068A
申请号 :
CN202210003717.6
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2022-01-05
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
裴国庆叶朗张朗王德恩王方唐军袁强徐旭倪卫
申请人 :
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请人地址 :
四川省绵阳市游仙区绵山路64号
代理机构 :
重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
唐攀
优先权 :
CN202210003717.6
主分类号 :
G02B17/06
IPC分类号 :
G02B17/06  G01M11/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B17/00
有或无折射元件的具有反射面的系统
G02B17/02
反射光系统,例如,影像竖立和倒向系统
G02B17/06
只用反射镜的
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 17/06
申请日 : 20220105
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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