半导体清洗设备通讯方法、系统以及计算机可读存储介质
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种半导体清洗设备通讯方法、系统以及计算机可读存储介质，所述方法包括以下步骤：主模块创建动作列表，所述主模块获取设备的当前状态参数并发送给控制模块，所述控制模块根据所述当前状态参数计算生成第一动作指令并发送给主模块；当所述主模块获取设备的更新状态参数时，所述控制模块根据所述更新状态参数计算生成第二动作指令并发送给主模块；所述主模块根据第二动作指令更新动作列表，并根据所述动作开始时间执行第二动作指令。本发明通提高了设备通讯控制的实时性，保证了调度拥有足够的时候进行计算，避免了设备出现等待或停顿现象，满足了设备过泡时间约束条件，提高了半导体设备的产能及良率。
基本信息
专利标题 ：
半导体清洗设备通讯方法、系统以及计算机可读存储介质
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114500488A
申请号 ：
CN202210005263.6
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-01-05
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
朱东和李杰刘斌傅慧初郭宇翔
申请人 ：
珠海埃克斯智能科技有限公司
申请人地址 ：
广东省珠海市横琴新区环岛东路1889号创意谷18栋110室-358
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202210005263.6
主分类号 ：
H04L67/02
IPC分类号 ：
H04L67/02 H04L69/16
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H04L 67/02
申请日 : 20220105
申请日 : 20220105
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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