本发明的实施例提供了一种罗茨转子三坐标检测建立基准的方法，涉及真空泵技术领域。罗茨转子三坐标检测建立基准的方法包括：在罗茨转子的理论模型上采集理论点坐标；确定理论点坐标对应的罗茨转子上的实际点坐标；计算出实际点坐标与理论点坐标重合所需的转动量；将理论点坐标按照转动量转动，形成罗茨转子的检测基准。该方法不需要采用罗茨转子的缺口面建立检测基准，能够减小检测误差，利用本方法确定的检测基准，能够更精准地反映罗茨转子的加工质量，而且该方法适用范围广，适用于所有类型的罗茨转子以及具有部分罗茨特征的转子。