一种六自由度的空气弹簧隔振平台
公开
摘要

本发明提出了一种六自由度的空气弹簧隔振平台,包括高压气源、隔振负载、垂直隔振器和水平隔振器,垂直隔振器设置于隔振负载的四角,水平隔振器设置于垂直隔振器之间的区域,垂直隔振器中高压气源分别连接第一空气轴承和垂直空气弹簧,在第一空气轴承与底座之间形成供垂直隔振器移动和转动的第一压力气膜导轨,垂直空气弹簧通过调节内部压力衰减垂直隔振器受到的振动干扰;水平隔振器中高压气源分别连接第二空气轴承和水平空气弹簧,在第二空气轴承和水平空气弹簧之间形成供水平隔振器移动和转动的第二压力气膜导轨,水平空气弹簧通过两组水平空气弹簧之间的气路连通衰减水平隔振器受到的振动干扰。该平台能够保证高精密仪器的工作精度和可靠性。

基本信息
专利标题 :
一种六自由度的空气弹簧隔振平台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114294371A
申请号 :
CN202210017503.4
公开(公告)日 :
2022-04-08
申请日 :
2022-01-08
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
郑建毅黄中和宋文俊高俊超张玉婷李金洋
申请人 :
厦门大学
申请人地址 :
福建省厦门市思明区思明南路422号
代理机构 :
厦门福贝知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
陈远洋
优先权 :
CN202210017503.4
主分类号 :
F16F15/023
IPC分类号 :
F16F15/023  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16F
弹簧;减震器;减振装置
F16F
弹簧;减震器;减振装置
F16F15/00
系统中振动的抑制
F16F15/02
非旋转系统振动的抑制,如往复系统;通过利用不与旋转系统一起运动的元件抑制旋转系统的振动
F16F15/023
使用流体装置
法律状态
2022-04-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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