饱满点的监测方法、存储介质、终端和拉晶设备
实质审查的生效
摘要

本发明提供了一种饱满点的监测方法、存储介质、终端和拉晶设备,属于半导体领域,方法包括采集图像、亮区域定位、阈值分割、状态判断,当判定为常态则计算常态饱满点突出外光圈距离d,当判定为非常态,则根据动态阈值分割算法检测得到非常态饱满点;拉晶设备包括炉体、旋转坩埚、拉晶单元、状态监测单元、加料器和控制器,根据饱满点维持时间判定是否可以进入后续引晶阶段,以此提供判定依据;本发明基于图像处理和距离计算,判定饱满点状态,以此实现实时的智能化监控拉晶动态,保证拉晶状态的稳定,并提高拉晶质量,便于在半导体制造领域推广应用。

基本信息
专利标题 :
饱满点的监测方法、存储介质、终端和拉晶设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114387251A
申请号 :
CN202210033284.9
公开(公告)日 :
2022-04-22
申请日 :
2022-01-12
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
何开振纪步佳董志文杨君庄再城胡方明杨国炜纪昌杰曹葵康薛峰
申请人 :
苏州天准科技股份有限公司;苏州天准软件有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市高新区科技城浔阳江路70号
代理机构 :
北京千壹知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王玉玲
优先权 :
CN202210033284.9
主分类号 :
G06T7/00
IPC分类号 :
G06T7/00  G06T7/11  G06T7/136  G06T7/13  G06T7/62  C30B15/26  C30B29/06  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算;推算或计数
G06T
一般的图像数据处理或产生
G06T7/00
图像分析
法律状态
2022-05-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G06T 7/00
申请日 : 20220112
2022-04-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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