一种用于同时测量旋转轴六自由度运动误差的系统
实质审查的生效
摘要

本发明提供了一种用于同时测量旋转轴六自由度运动误差的系统。该系统包括:光路连接的光源、测量单元和误差敏感单元;测量单元对光源发出的激光进行处理并传输至误差敏感单元,根据误差敏感单元返回的衍射光和反射光测量旋转轴六自由度运动误差;误差敏感单元包括环形光栅、第一角锥棱镜、正多面棱体和面型反射镜,环形光栅固定于第一角锥棱镜的斜面中心位置上;误差敏感单元固定于旋转轴的端面中心位置处,且环形光栅、第一角锥棱镜、正多面棱体、面型反射镜以及旋转轴五者的旋转中心轴重合,对测量单元入射的光进行衍射和回射。本系统无需伺服回转系统即可实现旋转轴的六自由度运动误差同时测量,极大的提高了测量效率和测量精度。

基本信息
专利标题 :
一种用于同时测量旋转轴六自由度运动误差的系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114440766A
申请号 :
CN202210033358.9
公开(公告)日 :
2022-05-06
申请日 :
2022-01-12
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李家琨伍李鸿张海峰冯其波何启欣
申请人 :
北京交通大学
申请人地址 :
北京市海淀区西直门外上园村3号
代理机构 :
北京市商泰律师事务所
代理人 :
黄晓军
优先权 :
CN202210033358.9
主分类号 :
G01B11/00
IPC分类号 :
G01B11/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2022-05-24 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/00
申请日 : 20220112
2022-05-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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