具有混合P型材料欧姆阴极的横向肖特基势垒二极管
公开
摘要
本发明公开了一种具有混合P型材料欧姆阴极的横向肖特基势垒二极管，包括：从下至上依次层叠设置的衬底、成核层、缓冲层、沟道层、势垒层、帽层；其中，帽层的右上方设有一P型阴极岛结构；P型阴极岛结构的右侧和器件的左侧分对应设置有阴极凹槽和阳极凹槽；阴极凹槽内的沟道层上设置阴电极，P型阴极岛结构上表面设有阴极板，阴极板与阴电极相连接，以形成混合P型材料欧姆阴极；阳极凹槽内的沟道层上设置有阳电极；在帽层上表面，凹槽阳极附近一定长度范围内设置有与阳电极相连的阳极场板；阳极场板与P型阴极岛之间的帽层上覆盖有一层钝化层。本发明提供的二极管对抑制电流崩塌有显著的作用，改善了器件的动态导通电阻退化现象。
基本信息
专利标题 ：
具有混合P型材料欧姆阴极的横向肖特基势垒二极管
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114597266A
申请号 ：
CN202210037578.9
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-01-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张涛李若晗段小玲张进成
申请人 ：
西安电子科技大学
申请人地址 ：
陕西省西安市雁塔区太白南路2号
代理机构 ：
西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王萌
优先权 ：
CN202210037578.9
主分类号 ：
H01L29/872
IPC分类号 ：
H01L29/872 H01L29/45 H01L29/205 H01L21/329
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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