一种非接触式静电场检测传感探头装置和系统
公开
摘要
本发明实施例公开了一种非接触式静电场检测传感探头装置和系统，该非接触式静电场检测传感探头装置，包括探头装置至少包括屏蔽壳体、在所述屏蔽壳体的内部设置有携带滑轨结构的音叉，在音叉的内侧设置有振动单元，且所述振动单元上铺设有绝缘层，在所述音叉的前端还设置有电荷采集板，且所述电荷采集板用于采集电荷量，并将所述电荷量传输至信号采集电路，由于音叉的升降运动模式，降低了传统悬梁臂式音叉振动时所带来的机械劳损，从而延长了音叉寿命，并确保了电极板平面与被测物体表面处于相对较为理想的平行状态，提高静电检测的精度和稳定性。
基本信息
专利标题 ：
一种非接触式静电场检测传感探头装置和系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114527337A
申请号 ：
CN202210041181.7
公开（公告）日 ：
2022-05-24
申请日 ：
2022-01-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陆文通刘波文乔畅君苏友金王海飞郑琦黄强肖磊韩玲玲顾大元
申请人 ：
深圳市中明科技股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区福永街道新田大道71-2号立新湖福宁高新产业园B栋6-7层
代理机构 ：
深圳市徽正知识产权代理有限公司
代理人 ：
卢杏艳
优先权 ：
CN202210041181.7
主分类号 ：
G01R29/12
IPC分类号 ：
G01R29/12 G01R1/18
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R29/00
不包括在G01R19/00至G01R27/00各组中的电量的测量或指示装置
G01R29/12
静电场的测量
法律状态
2022-05-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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