本发明公开了一种低温等离子体高压脉冲发生器装置，其包括绝缘外壳、脉冲发生器组件、进线高压接头、出线高压接头、隔离套及电阻，绝缘外壳内设有安装槽、进线槽及出线槽，安装槽位于进线槽和出线槽的一侧，脉冲发生器组件设置于安装槽中，进线槽和出线槽的一端分别设置有进线高压接头和出线高压接头，进线槽的另一端设置有隔离套，电阻设置于隔离套内。本发明通过将高压工作器件整合成一体，将其压缩成一个小箱体，实现高压脉冲发生器的小型化，改变了高压设备大多只能应用于工业及大型设备上的现状，使其可以方便应用于小型设备上，在污水治理、烟气治理、消毒灭菌、医疗器械等众多领域都可以很好地应用。