高频高压低温等离子体发生系统
授权
摘要
本实用新型涉及一种高频高压低温等离子体发生系统，系统包括控制电路、零电压软开关驱动电路及高频谐振升压电路，控制电路用于向零电压软开关驱动电路输送控制信号，零电压开关驱动电路接收控制信号并将控制信号逆变为交流信号并通过零电压软开关驱动电路进行第一次升压处理后发送第一升压信号至高频谐振升压电路，高频谐振升压电路接收第一升压信号并对第一升压信号作第二次升压处理。通过在系统中加入零电压软开关驱动电路及高频谐振升压电路，将控制信号变成第一升压信号，该第一升压信号经高频谐振升压电路升压后形成高压电场，最终在高压电场内稳定形成低温等离子体，达到高效率、低损耗且低温产生等离子体的效果。
基本信息
专利标题 ：
高频高压低温等离子体发生系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920406495.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-03-28
授权号 ：
CN209358449U
授权日 ：
2019-09-06
发明人 ：
吴迪伍远博陶智陈大庆黄敏顾中浩徐超周长伟江均均
申请人 ：
苏州大学
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区济学路8号
代理机构 ：
苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
叶栋
优先权 ：
CN201920406495.6
主分类号 ：
H02M7/5387
IPC分类号 ：
H02M7/5387 H02M5/10 H05H1/24
法律状态
2019-09-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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