本发明公开了一种轴承表面颗粒物成分的检测方法，特点是先对轴承零件表面进行清洗，将带有颗粒物的清洗溶液过滤到滤膜上并烘干；再将带有颗粒物的滤膜展平并放置到离子溅射仪中进行喷金处理；将喷金后的滤膜下边沿用导电双面胶粘贴在样品台上；并将样品台置于扫描电镜能谱仪中进行观测扫描，得到颗粒物的成分数据；优点是该检测方法速度快，检测结果准确，而且本方法中所使用的颗粒物固定方法安全，成本低，适合在轴承生产企业中应用，可及时将检测结果进行反馈，以便于及时对轴承的加工工艺进行调整，以提高轴承的生产效率。