一种具有安全互锁逻辑的控制模块及碳化硅外延设备
实质审查的生效
摘要
本申请公开一种具有安全互锁逻辑的控制模块及碳化硅外延设备。该控制模块包括：数据采集模块，其实时的采集与其连接的子系统的信息；数据处理模块，其接收并响应数据采集模块的采样的信息，与预设的检查表中的参数比较，并输出与子系统对应的处理结果；这样子系统匹配的执行模块，接收并响应处理结果进行动作。通过安全互锁逻辑控制模块建立设备与各子系统或零部件间严密的逻辑关系，并基于预设的规则动作，设备处于安全状态。
基本信息
专利标题 ：
一种具有安全互锁逻辑的控制模块及碳化硅外延设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114457418A
申请号 ：
CN202210045392.8
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2022-01-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
蒲勇田保峡向阳张勇施建新
申请人 ：
芯三代半导体科技（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏慕路104号S栋
代理机构 ：
苏州智品专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
唐学青
优先权 ：
CN202210045392.8
主分类号 ：
C30B25/14
IPC分类号 ：
C30B25/14 C30B25/16 C30B29/36
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B25/00
反应气体化学反应法的单晶生长，例如化学气相沉积生长
C30B25/02
外延层生长
C30B25/14
气体供给或排出用的装置；反应气流的变换
法律状态
2022-05-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 25/14
申请日 : 20220115
申请日 : 20220115
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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