本发明提供一种低浓度含氟废水的处理方法，用于蚀刻废液处理工艺的后续处理，降低能耗费用的同时，回收得到高浓度的氟化氢铵溶液，提高资源利用效果，并降低排放水的的含氟量，保证环境安全；其包括以下步骤，将含氟处理废水通入预反应罐与回收氢氟酸溶液进行预处理，得到氟化氢铵溶液；然后通入微滤过滤器进行过滤，再采用电渗析装置进行两级电渗析处理，一级电渗析装置处理得到一级淡水和一级浓水，一级淡水进入淡水储罐，一级浓水经一级浓水罐进入二级电渗析装置处理得到二级淡水和二级浓水，二级淡水回用于一级电渗析装置，二级浓水进入浓水储罐。