一种谐振式石墨烯气体压力传感器
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种谐振式石墨烯气体压力传感器,包括第一电极、第二电极、第三电极、单层石墨烯、多层石墨烯、缓冲层、第一绝缘层、二氧化硅基底和硅基底,第三电极卡在二氧化硅基底空腔的底部,并置于硅基底之上;单层石墨烯置于氧化硅基底之上,与第三电极之间形成第一空腔;所述第一电极和第二电极卡在缓冲层中,并置于单层石墨烯之上;多层石墨烯通过第一绝缘层置于缓冲层之上;多层石墨烯与单层石墨烯之间形成第二空腔;第一空腔和第二空腔内均填充有惰性气体,整个压力传感器置于由固定上外壳和固定下外壳组成的盒体内。本发明的谐振式石墨烯气体压力传感器结构简单,较高的灵敏度和可靠性,可用于呼吸检测、气压测量等应用。

基本信息
专利标题 :
一种谐振式石墨烯气体压力传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114544064A
申请号 :
CN202210047811.1
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-01-17
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
朱鹏程张豪汤富张行斌汪淑芬
申请人 :
江苏科技大学
申请人地址 :
江苏省镇江市京口区梦溪路2号
代理机构 :
南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
柏尚春
优先权 :
CN202210047811.1
主分类号 :
G01L9/08
IPC分类号 :
G01L9/08  B81B7/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L9/00
用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力;用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移,该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的
G01L9/08
利用压电器件的
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 9/08
申请日 : 20220117
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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