硅压阻式气体压力传感器
授权
摘要
本实用新型公开一种硅压阻式气体压力传感器，其包括：壳体，设有相分隔的第一腔室、第二腔室和第三腔室，第一腔室具有第一气嘴，第二腔室具有第二气嘴，壳体还设有校准流道和两条第一气流流道，校准流道连通第一腔室和第三腔室，一第一气流流道连通第一腔室和第三腔室，另一第一气流流道连通第二腔室和第三腔室；敏感元件，收容于第一腔室，硅压阻式气体压力敏感元件的背侧密封校准流道；导气管，设于第一腔室，导气管的一端管口连接至第一气嘴，导气管的另一端管口朝向远离硅压阻式气体压力敏感元件的方向延伸；密封塞，收容于第三腔室内；以及驱动件，驱动密封塞。本实用新型的技术方案旨在减少硅压阻式气体压力敏感元件附着的灰尘或油污。
基本信息
专利标题 ：
硅压阻式气体压力传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122872613.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-22
授权号 ：
CN216746537U
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
张建国杨格王海峰陈建环郑灿林
申请人 ：
深圳华美澳通传感器有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区平湖街道力昌社区平龙东路349号2#厂房B401
代理机构 ：
深圳市恒程创新知识产权代理有限公司
代理人 ：
王韬
优先权 ：
CN202122872613.2
主分类号 ：
G01L9/02
IPC分类号 ：
G01L9/02 G01L19/00 G01L1/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L9/00
用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的
G01L9/02
利用改变欧姆电阻值的，例如，使用电位计
法律状态
2022-06-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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