硅压阻式压力传感器温度误差修正方法
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摘要
一种硅压阻式压力传感器温度误差修正方法，属于传感器修正技术领域。本发明针对现有硅压阻式压力传感器存在温度漂移的问题。它基于惠斯顿电桥构建外接串并联固定补偿电阻进行温度误差修正；选取三个温度点，分别测试惠斯顿电桥在恒定直流电压源激励下的零点输出和上限输出，以及断开电源时在零压状态下的电桥阻值；在不同温度点下建立电桥阻值与四个可变电阻的电路关系，求解获得惠斯顿电桥中四个可变桥臂电阻的阻值；再建立三个温度点条件下的传感器输出数学模型，根据四个可变桥臂电阻的阻值及外接串并联固定补偿电阻的约束条件，求解获得两个灵敏度补偿电阻和三个零点补偿电阻的阻值。本发明用于硅压阻式压力传感器的温度漂移误差修正。
基本信息
专利标题 ：
硅压阻式压力传感器温度误差修正方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112414594A
申请号 ：
CN202011241911.5
公开（公告）日 ：
2021-02-26
申请日 ：
2020-11-09
授权号 ：
CN112414594B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
孙凤玲朱晓明王震丁文波李仁刚刘建伟王俊巍马明宇张卫星赵瑞堃
申请人 ：
中国电子科技集团公司第四十九研究所;黑龙江工程学院
申请人地址 ：
黑龙江省哈尔滨市南岗区一曼街29号
代理机构 ：
哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨晓辉
优先权 ：
CN202011241911.5
主分类号 ：
G01L1/22
IPC分类号 ：
G01L1/22 G01L9/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/20
通过测量固体材料或导电流体欧姆电阻变化；应用动力电池，即施加应力后会产生或改变其电位的液体电池
G01L1/22
利用电阻应变仪
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2021-03-16 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 1/22
申请日 : 20201109
申请日 : 20201109
2021-02-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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