一种降低压阻压力传感器非线性误差的方法及装置
实质审查的生效
摘要

本发明提供一种降低压阻压力传感器非线性误差的方法及装置,方法包括:创建压阻压力传感器的结构模型;为感压膜、横向压阻条及纵向压阻条设置对应的材料属性;根据预设的施压策略向结构模型施加压力,获得结构模型对应的应力云图;基于应力云图调整各压阻条的分布位置,使得各压阻条和分布在应力云图中同一应力梯度内;如此,获得感压膜上的差值应力云图,根据差值应力云图调整各压阻条的分布位置,使得横向压阻条和纵向压阻条分布在应力云图中的同一应力梯度内;使横向压阻条及纵向压阻条之间的应力差异达到最小化,从而降低非线性误差;该方法不需要改变感压膜结构,压阻条掺杂浓度及增加后续电路等,因此不会造成工艺难度的增加及器件成本。

基本信息
专利标题 :
一种降低压阻压力传感器非线性误差的方法及装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114323366A
申请号 :
CN202011061671.0
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2020-09-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张群英尚海平王玮冰
申请人 :
中国科学院微电子研究所
申请人地址 :
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 :
北京华沛德权律师事务所
代理人 :
房德权
优先权 :
CN202011061671.0
主分类号 :
G01L1/18
IPC分类号 :
G01L1/18  G01L9/06  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/18
利用压电电阻材料的性质,即材料的欧姆电阻随作用于材料上的力的大小或方向的改变而变化的性质
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 1/18
申请日 : 20200930
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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