一种梁岛膜压阻式压力传感器
授权
摘要
本实用新型公开了一种梁岛膜压阻式压力传感器，包括金属引线和硅基底，所述金属引线的下方安装有压敏电阻，所述第一二氧化硅层的下方设置有单晶硅层，所述硅基底位于第二二氧化硅层的下方，所述玻璃衬底与硅基底之间设置有真空腔，且真空腔的内部设置有岛，所述压敏电阻的上方设置有梁，且梁的内侧安装有中心膜，所述中心膜的上方设置有平膜，所述金属引线的转折处连接有焊盘。该梁岛膜压阻式压力传感器，与现有的普通压力传感器相比，该设备能够降低中心膜的挠度，减少中性面的弯曲，满足小挠度假设，减少非线性误差带来的影响，该设备压敏电阻折弯处宽度很大且掺杂浓度很高，这样能够使折弯处的电阻很小，使压敏电阻更好的相匹配。
基本信息
专利标题 ：
一种梁岛膜压阻式压力传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021168291.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-22
授权号 ：
CN211954507U
授权日 ：
2020-11-17
发明人 ：
李富乐刘佳林周亚辉皇咪咪赵立波蒋庄德
申请人 ：
明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司
申请人地址 ：
山东省烟台市经济技术开发区珠江路28号科技大厦1019-2室
代理机构 ：
北京中济纬天专利代理有限公司
代理人 ：
潘剑敏
优先权 ：
CN202021168291.2
主分类号 ：
G01L1/18
IPC分类号 ：
G01L1/18
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/18
利用压电电阻材料的性质，即材料的欧姆电阻随作用于材料上的力的大小或方向的改变而变化的性质
法律状态
2020-11-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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