梁-岛-膜应变式压力传感器
授权
摘要

本实用新型公开了梁‑岛‑膜应变式压力传感器,包括四个铂金电阻、梁、敏感膜片、岛、硅基底以及玻璃衬底,所述玻璃衬底上键合有硅基底,所述硅基底上开设有真空腔室,所述敏感膜片包括中心膜、平膜以及梁,所述岛位于中心膜中心处并位于真空腔室的内侧,所述铂金电阻之间连接有电极引线,所述梁的末端与中心膜缘中部相接。本实用新型传感器采用梁‑岛‑膜结构,与传统的E型结构相比,梁的存在能提高应力集中的的效果,提高传感器的灵敏度;与传统的C型结构相比,岛的存在使得敏感膜片的挠度降低,减少非线性误差带来的影响,线性度增加。

基本信息
专利标题 :
梁-岛-膜应变式压力传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020772297.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-12
授权号 :
CN211717679U
授权日 :
2020-10-20
发明人 :
刘佳林赵立波李富乐周亚辉车寿进汪升森孙立勇郭晨晨刘金涛
申请人 :
明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司
申请人地址 :
山东省烟台市经济技术开发区珠江路28号科技大厦1019-2室
代理机构 :
北京中济纬天专利代理有限公司
代理人 :
马国冉
优先权 :
CN202020772297.4
主分类号 :
G01L1/22
IPC分类号 :
G01L1/22  G01L9/04  G01L23/18  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/20
通过测量固体材料或导电流体欧姆电阻变化;应用动力电池,即施加应力后会产生或改变其电位的液体电池
G01L1/22
利用电阻应变仪
法律状态
2020-10-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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