全桥式电阻应变式压力传感器及其制备方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种全桥式电阻应变式压力传感器及其制备方法,所述压力传感器包括基底和形成在基底上的四个电阻应变传感单元,所述电阻应变传感单元包括基底上的凹槽以及通过熔融沉积工艺填充在凹槽中的半导体材料,四个电阻应变传感单元在基底上呈中心对称分布并且是在同一道熔融沉积工艺中制备形成,任意两个电阻应变传感单元的连接节点上设置有一金属焊盘;所述电阻应变传感单元包括多个直线部以及将多个直线部串联的连接部,所述直线部沿着从一个所述金属焊盘到邻近的另一个所述金属焊盘的方向延伸。本发明通过同一道熔融沉积工艺在基底上同时制备获得构成全桥电路的四个电阻应变传感单元,使得该压力传感器具有体积小以及灵敏度高的优点。

基本信息
专利标题 :
全桥式电阻应变式压力传感器及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114383763A
申请号 :
CN202111395105.8
公开(公告)日 :
2022-04-22
申请日 :
2021-11-23
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
林维黄东亚李根生
申请人 :
林赛思尔(厦门)传感技术有限公司
申请人地址 :
福建省厦门市湖里区高崎南五路218号
代理机构 :
深圳市铭粤知识产权代理有限公司
代理人 :
孙伟峰
优先权 :
CN202111395105.8
主分类号 :
G01L1/22
IPC分类号 :
G01L1/22  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/20
通过测量固体材料或导电流体欧姆电阻变化;应用动力电池,即施加应力后会产生或改变其电位的液体电池
G01L1/22
利用电阻应变仪
法律状态
2022-05-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 1/22
申请日 : 20211123
2022-04-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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