哑铃形梁膜结构的压阻型压力传感器
专利权的终止未缴纳年费专利权终止
摘要
用正面哑铃形的异形梁与平膜相结合的弹性体结构，在流体压力负载下可以产生符号不同的应力集中区，在这些区域设置力敏电阻器件(压阻全桥或四端单元件的力敏器件)可以制成高性能的压阻型压力传感器。这种压力传感器有灵敏度高，频响特性好，受振动、加速度或姿态的影响小等优点。由于关键的光刻对准工艺被集中到硅片的正面，使工艺加工的难度和对加工设备的要求降低，有利于成品率的提高和成本的下降。
基本信息
专利标题 ：
哑铃形梁膜结构的压阻型压力传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN88211370.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1988-01-22
授权号 ：
CN88211370U
授权日 ：
1988-12-28
发明人 ：
鲍敏杭王言于连忠
申请人 ：
复旦大学
申请人地址 ：
上海市邯郸路220号
代理机构 ：
复旦大学专利事务所
代理人 ：
陆飞
优先权 ：
CN88211370.4
主分类号 ：
G01L9/06
IPC分类号 ：
G01L9/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L9/00
用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的
G01L9/02
利用改变欧姆电阻值的，例如，使用电位计
G01L9/06
压电电阻器件的
法律状态
1992-05-13 ：
专利权的终止未缴纳年费专利权终止
1989-10-04 ：
授权
1988-12-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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