一种二维纳米材料的STEM样品的制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种二维纳米材料的STEM样品的制备方法，在真空环境中对制备好的二维纳米材料原位进行第一层保护层的蒸镀；在真空环境中对已经蒸镀第一层保护层的二维纳米材料原位进行第二层保护层的蒸镀；从真空环境中取出蒸镀二层保护层的二维纳米材料，通过电子束与离子束诱导沉积的方式沉积铂金薄膜，然后采用聚焦离子束进行取样，得到样品薄片，采用聚焦离子束对所述样品薄片进行减薄，至样品薄片在扫描电子显微镜(SEM)中衬度变白，得到二维纳米材料的STEM样品。本发明通过真空中原位蒸镀富勒烯(C60)薄膜和金属薄膜或非金属薄膜的方法，解决了二维纳米材料制备STEM样品需经过暴露大气，导致样品被污染以及后续取样中表征结构被破坏的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种二维纳米材料的STEM样品的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114428180A
申请号 ：
CN202210049857.7
公开（公告）日 ：
2022-05-03
申请日 ：
2022-01-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
朱知力王业亮时金安刘中流武旭周武高鸿钧
申请人 ：
中国科学院物理研究所;北京理工大学;中国科学院大学
申请人地址 ：
北京市海淀区中关村南三街八号
代理机构 ：
北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
焦海峰
优先权 ：
CN202210049857.7
主分类号 ：
G01Q30/20
IPC分类号 ：
G01Q30/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01Q
扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术
G01Q30/00
用于辅助或改进扫描探针技术或设备的辅助手段，例如显示或数据处理装置
G01Q30/20
样品处理装置或方法
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01Q 30/20
申请日 : 20220117
申请日 : 20220117
2022-05-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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