本发明公开了一种超声波辅助流体空化研磨设备。本设备主要将部件安装于流动回路中，回路中的泵驱使流体通过部件的内部通道；空化诱导器安装在喷嘴上，使得流经的流体产生气泡；气泡在部件的内部通道内爆产生高能微射流，对通道表面进行抛光处理；同时，超声波发生器在部件外移动，可选择性地增强部件内部通道中流体的空化强度，防止抛光不均匀；流体中的研磨介质利用磨粒的磨损机制可以进一步对通道表面进行加工。本设备使得部件表面光洁度得到极大的改善，研磨介质运动速度的增加加强了对部件表面的冲击压力使得研磨介质对表面质量的改善作用大大加强，气泡数量的增多，增强了空化强度，使得对通道表面的处理效果得到极大加强。