基于MEMS的高光谱系统及光谱仪
实质审查的生效
摘要
本发明涉及高光谱成像技术，公开了基于MEMS的高光谱系统及光谱仪，其包括光源(121)和光束处理单元，MEMS扫描微镜(151)，MEMS扫描微镜(151)为阵列式的扫描微镜；光源(121)经光束处理单元处理后的光束(142)进入MEMS扫描微镜(151)，光束(142)通过MEMS扫描微镜(151)按照需求依次反射；干涉系统(160)包括MEMS平动微镜(163)，MEMS扫描微镜(151)反射后的光束(142)进入MEMS平动微镜(163)，MEMS平动微镜(163)对光束(142)进行调制并反射；本发明设计的光谱仪其体积小、分辨率高、稳定性好，而且成本低。
基本信息
专利标题 ：
基于MEMS的高光谱系统及光谱仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114485937A
申请号 ：
CN202210060903.3
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-01-19
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
薛原赵瑞凡凌明韩中旭
申请人 ：
浙江微翰科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市桐乡市环城北路518号梧桐智创园
代理机构 ：
浙江杭知桥律师事务所
代理人 ：
陈丽霞
优先权 ：
CN202210060903.3
主分类号 ：
G01J3/28
IPC分类号 ：
G01J3/28 G01J3/02 G01J3/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01J
红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法
G01J3/00
光谱测定法；分光光度测定法；单色器；测定颜色
G01J3/28
光谱测试
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01J 3/28
申请日 : 20220119
申请日 : 20220119
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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