一种MEMS矢量水听器芯片及MEMS矢量水听器
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种MEMS矢量水听器芯片及MEMS矢量水听器,包括锚点,其由两层硅片组成,下面的一层为衬底层,上面的一层为声学敏感结构层;声学敏感结构的一端与锚点固定连接、另一端朝向远离锚点的方向延伸形成为自由端,声学敏感结构可在声波的作用下发生变形受到应力作用;至少一组电阻元件包括设于声学敏感结构的与锚点连接的一端上的第一电阻元件和设于声学敏感结构层上的第二电阻元件,第一电阻元件和第二电阻元件的初始值相同且共同组成一个惠斯通电桥;电阻元件连接有两个输出端口。采用单支点结构,可以有效减小封装应力对水听器的影响,采用硅片加工而成,大大降低原材料成本,成本低。
基本信息
专利标题 :
一种MEMS矢量水听器芯片及MEMS矢量水听器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114485909A
申请号 :
CN202210064158.X
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-01-20
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
宋金龙郑欣怡凤瑞周六辉
申请人 :
中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心
申请人地址 :
江苏省苏州市高新区龙山路89号
代理机构 :
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 :
范晴
优先权 :
CN202210064158.X
主分类号 :
G01H11/06
IPC分类号 :
G01H11/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01H
机械振动或超声波、声波或次声波的测量
G01H11/00
通过检测电或磁特性的变化测量机械振动或超声波、声波或次声波
G01H11/06
用电的方法
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01H 11/06
申请日 : 20220120
申请日 : 20220120
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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