一种吸附夹紧移栽平台
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摘要

本发明涉及半导体封装技术领域,特别是一种吸附夹紧移栽平台,包括平台本体,所述平台本体包括安装座,所述安装座连接有夹紧装置,所述安装座上安装有载料台,所述安装座上开有若干个第一孔洞,所述安装座的边侧开有出气孔,所述夹紧装置包括气缸,所述气缸连接有导杆,所述导杆连接有固定块,所述固定块内侧连接有滑块,所述滑块连接有导轨,所述导轨安装于安装座上,所述固定块内开有第一空腔,所述第一空腔内安装有第一滑轮,所述第一滑轮连接有连接杆,所述连接杆的另一端连接有凸轮机构,所述凸轮机构安装在边框的内侧,所述边框开有第二空腔。本发明可以克服材料片的翘曲变形,保证平整度;减小对材料片的损伤度;降低了设备的占用空间。

基本信息
专利标题 :
一种吸附夹紧移栽平台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114121748A
申请号 :
CN202210065229.8
公开(公告)日 :
2022-03-01
申请日 :
2022-01-20
授权号 :
CN114121748B
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
晁东军浦招前胡学磊
申请人 :
江苏国芯智能装备有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市金坛区明湖路365号
代理机构 :
南京勤行知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
尹英
优先权 :
CN202210065229.8
主分类号 :
H01L21/677
IPC分类号 :
H01L21/677  H01L21/683  B23K26/362  B23K26/70  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的,例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-04-01 :
授权
2022-03-18 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/677
申请日 : 20220120
2022-03-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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