一种磷化铟清洗用清洗液及其制备方法与清洗方法
公开
摘要
本申请涉及半导体材料技术领域，具体公开了一种磷化铟清洗用清洗液及其制备方法与清洗方法。磷化铟清洗用清洗液包括A组分和B组分，所述A组分包括以下重量份的原料：氨水6‑14份、双氧水16‑24份、脂肪醇聚乙烯醚1‑9份、羧甲基纤维素1‑9份、水450‑530份；所述B组分包括以下重量份的原料：硫酸6‑14份、双氧水6‑14份、二乙烯三胺五甲叉膦酸1‑9份、水490‑500份；其制备方法为：A组分的原料混合，制得A组分并包装,B组分的原料混合，制得B组分并包装。本申请的磷化铟清洗用清洗液可用于清洗半导体材料，其具有降低磷化铟粗糙度，提高产品质量的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种磷化铟清洗用清洗液及其制备方法与清洗方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114574290A
申请号 ：
CN202210069456.8
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-01-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
邓白鹭李海淼
申请人 ：
北京通美晶体技术股份有限公司
申请人地址 ：
北京市通州区工业开发区东二街4号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202210069456.8
主分类号 ：
C11D1/72
IPC分类号 ：
C11D1/72 C11D3/04 C11D3/22 C11D3/37 C11D3/12 C11D3/39 C11D3/60 C11D7/08 C11D7/36 C11D7/60 H01L21/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C11
动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛
C11D
洗涤剂组合物；用单一物质作为洗涤剂；皂或制皂；树脂皂；甘油的回收
C11D1/00
主要以表面活性化合物为基料的洗涤组合物；使用这些化合物作为洗涤剂
C11D1/66
非离子型化合物
C11D1/72
聚氧亚烷基乙二醇的醚
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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