烧结设备及其气氛可控的压力烧结机构
公开
摘要
本发明涉及烧结设备技术领域,尤其是一种烧结设设备及其气氛可控的压力烧结机构,该气氛可控的压力烧结机构包括伸缩管、加压组件及加热组件,伸缩管至少存在一部分为能够弹性伸缩的波纹管段,伸缩管配置在两个加压组件之间,由于伸缩管具有能够弹性伸缩的波纹管段,故而伸缩管的弹性模量很低,对于小压力工作范围,伸缩管能够以较小的压力密封形成的烧结腔,同时在伸缩管能够弹性伸缩的特性影响下,伸缩管所受的压力远小于产品所受的压力,因此,可近似认为加压组件上的所有压力都施加在了产品上,从而只需测得加压组件的压力,便于获知加载在芯片上的压力,进而能够满足小压力工作范围的烧结键合,适用范围广。
基本信息
专利标题 :
烧结设备及其气氛可控的压力烧结机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114608311A
申请号 :
CN202210080776.3
公开(公告)日 :
2022-06-10
申请日 :
2022-01-24
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
杨友志邹贵生戚国强刘磊刘元王文淦许建磊王帅奇潘兵黄辰潇吴永超杜荣葆
申请人 :
快克智能装备股份有限公司;清华大学
申请人地址 :
江苏省常州市武进高新技术产业开发区凤翔路11号
代理机构 :
常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
李楠
优先权 :
CN202210080776.3
主分类号 :
F27B5/05
IPC分类号 :
F27B5/05 F27B5/06 H01L21/67
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B5/00
马弗炉;干馏炉;其他炉料完全隔绝的炉
F27B5/04
适用于在真空中或特殊气氛中处理炉料的
F27B5/05
在真空中
法律状态
2022-06-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载