本发明公开了一种含磷阻燃剂废水的高级氧化处理工艺及设备，其特征在于，包括：第一处理系统以及第二处理系统；所述第一处理系统包括：第一高级氧化处理单元、第一循环处理罐、第一热交换、第一泵体组成；所述第一热交换连接于第一高级氧化处理单元，所述第一循环处理罐连接于第一热交换，所述第一泵体的分别连接在第一循环处理罐以及第一高级氧化处理单元上；本发明的有益效果是，采用掺硼金刚石电极的高级氧化处理工艺，可以完成有机磷到无机磷的转化，最终实现含磷阻燃剂废水的无害化处理，无二次污染转移，掺硼金刚石电极产生的羟基自由基尽管具有强氧化性，对于浓度很高的污染物质具有高效性，提高电流的利用率，降低处理成本。