一种抗划伤的保持环
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种抗划伤的保持环，所述抗划伤的保持环包括刚性环和弹性环；所述弹性环包括第一粘接面和研磨面；所述刚性环包括第二粘接面和固定面；所述第一粘接面和第二粘接面通过粘结剂紧贴固定；所述研磨面上等间距设置有至少三个呈倾斜设置的条状凹槽；所述条状凹槽与所述研磨面的上表面的连接处没有倒圆角。本发明提供的保持环通过对条状凹槽与所述研磨面上表面的连接处的改进(将倒角做成0)，增加了保持环对研磨垫的打磨作用，更有效的去除了研磨副产物，减小并改善了研磨过程中保持环对于晶圆的划伤。
基本信息
专利标题 ：
一种抗划伤的保持环
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114505783A
申请号 ：
CN202210089338.3
公开（公告）日 ：
2022-05-17
申请日 ：
2022-01-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
姚力军潘杰惠宏业王学泽左威
申请人 ：
上海江丰平芯电子科技有限公司
申请人地址 ：
上海市奉贤区奉浦工业区奉浦大道111号5楼2427室
代理机构 ：
北京远智汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
牛海燕
优先权 ：
CN202210089338.3
主分类号 ：
B24B37/32
IPC分类号 ：
B24B37/32 B24B53/017
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/27
工件载体
B24B37/30
用于平面的单侧研磨
B24B37/32
保持环
法律状态
2022-06-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 37/32
申请日 : 20220125
申请日 : 20220125
2022-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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