一种采用连续性声波调整单层纳米微球阵列有序排布的方法
实质审查的生效
摘要
本发明属于微纳米结构制备的技术领域，尤其涉及一种采用连续性声波调整单层纳米微球阵列有序排布的方法。包括以下步骤：S1.清洗基片，进行亲水性处理；S2.将纳米微球悬浊液通过气‑液界面的自组装初步形成单层膜阵列；S3.利用连续性声波调整步骤S2制备的纳米微球单层膜阵列，使其呈现有序排布；S4.将步骤S3制备的有序微球阵列聚拢并转移到步骤S1处理好的基片上，蒸发样品残余水分。本发明可提升纳米微球阵列排布的有序程度，解决了传统制备方法形成阵列中的缺陷及不能独立改变单元与单元之间不等间距的问题，为纳米球光刻技术制备大面积有序阵列提供了全新的可参考方案，为NSL技术带来新的突破。
基本信息
专利标题 ：
一种采用连续性声波调整单层纳米微球阵列有序排布的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114436206A
申请号 ：
CN202210094284.X
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2022-01-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
埃泽尔·马丁·阿金诺古何冠洲王新周国富迈克尔·吉斯格
申请人 ：
肇庆市华师大光电产业研究院
申请人地址 ：
广东省肇庆市高新区荔园街3号创新创业科学园B1、B2幢
代理机构 ：
广州正明知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
成姗
优先权 ：
CN202210094284.X
主分类号 ：
B81C1/00
IPC分类号 ：
B81C1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81C
专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备
B81C1/00
在基片内或其上制造或处理的装置或系统
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B81C 1/00
申请日 : 20220126
申请日 : 20220126
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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