基于多线圈耦合的气体解离电路控制装置及系统
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种基于多线圈耦合的气体解离电路控制装置，应用于气体解离系统，所述气体解离系统包括解离腔室和气体解离电路，包括离化率检测装置，用于检测所述解离腔室内气体的离化率；气体解离电路控制装置用于根据所述离化率、参考离化率、所述气体解离电路的电流和参考电流实现对所述气体解离电路的控制，通过检测到的离化率调节气体解离电路，便于提高气体解离率。本发明还提供了一种气体解离系统。
基本信息
专利标题 ：
基于多线圈耦合的气体解离电路控制装置及系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114501764A
申请号 ：
CN202210096379.5
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-01-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
潘小刚朱国俊
申请人 ：
江苏神州半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市扬州市邗江区蜀岗西路19号1
代理机构 ：
上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黄海霞
优先权 ：
CN202210096379.5
主分类号 ：
H05H1/46
IPC分类号 ：
H05H1/46 H02J50/10 H02J50/40
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05H 1/46
申请日 : 20220126
申请日 : 20220126
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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