基于多线圈耦合的气体解离电路及气体解离系统
实质审查的生效
摘要

本发明提供了一种基于多线圈耦合的气体解离电路,包括至少两个解离变压器和至少两个电抗,所述解离变压器包括第一主线圈、第一副线圈和电抗,所述第一主线圈之间串联,所述第一副线圈与所述电抗一一对应设置,且所述第一副线圈与所述电抗串联,所有所述解离变压器的匝数比均相同,所述匝数比为同一所述解离变压器内所述第一主线圈的匝数和所述第一副线圈的匝数的比值,所述第一主线圈之间串联,使得所有所述第一主线圈内的电流大小均相等,所有所述解离变压器的匝数比均相同,使得所有所述第一副线圈内的电流大小均相等,从而使得所述电抗产生的磁场强度相同,进而提高了气体离化率。本发明还提供了一种气体解离系统。

基本信息
专利标题 :
基于多线圈耦合的气体解离电路及气体解离系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114501765A
申请号 :
CN202210096385.0
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-01-26
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
潘小刚朱国俊赵剑锋金龙刘康礼
申请人 :
江苏神州半导体科技有限公司;东南大学
申请人地址 :
江苏省南京市扬州市邗江区蜀岗西路19号1
代理机构 :
上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
黄海霞
优先权 :
CN202210096385.0
主分类号 :
H05H1/46
IPC分类号 :
H05H1/46  H02J50/10  H02J50/40  
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05H 1/46
申请日 : 20220126
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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