本发明涉及单晶硅片清洗技术领域，具体的说是一种磨损率低的单晶硅片清洗脱胶机构，包括清洗池，所述清洗池上安装有用于排放清洗剂的排水管，所述调节机构上安装有对放置机构进行抖动的摇摆机构，所述清洗池上安装有与摇摆机构抵触的驱动机构；将装有单晶硅片的收纳盒放置到放置机构的内部，将配重结构滑动到单晶硅片的一侧，实现了调节机构类似跷跷板倾斜，此时单晶硅片浸入到清洗池的内部，实现了对单晶硅片的清洗，清洗完成后可以将配重的结构移动另一个放置机构一侧，实现了清洗池内部的放置机构移出清洗池，将未清洗的单晶硅片放置到配重结构一侧的放置机构上，那么清洗过的单晶硅片得到晾晒的时间，避免了清洗液滴落污染台面。